FARO® Quantum Max ScanArm
全球标准化非接触式测量臂技术
有时，一个部件或工具会非常复杂，您无法使用接触式探头来捕捉其所有的测量数据。但激光能以超乎寻常的速度和精确性完成这项工作。在这些情况下，领先的制造商会选择 FARO Quantum Max ScanArm，它结合了 Quantum Max FaroArm® 便携式坐标测量机 (CMM) 的测量功能与 Laser Line Probe 的非接触式功能。Quantum Max 还提供多种 LLP，可根据项目需要优化精度或速度，或同时优化两者。无论您选择哪个 LLP，三维 ScanArm 都能在从车间到现场的几乎任何环境中，捕捉到精确的测量结果。
预约现场演示
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价值
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性能
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功能
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应用
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规格
ScanArm 的商业价值
ScanArm 的性能水平
ScanArm 功能
三维测量应用
改进质量控制和检测
在首件检测、过程中检测以及来件检测过程中，验证尺寸精度，识别与理论 CAD 数据的偏差。了解质量控制和检测应用 >
生产、制造和装配
保持生产设备得到校准和调整，验证工装和零件的尺寸精度。了解生产、制造和装配应用 >
更快速、更精准的产品设计和产品工程
加快逆向工程和快速成型过程，以缩短上市时间。了解产品设计和工程应用 >
ScanArm 系统精度 - 非接触式测量**（配有 LLP 的 FaroArm）
|
QuantumS Max |
||||
| FAROBlu Max | xR | xP | xS | xE |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.03 毫米 0.0012 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.042 毫米 0.0017 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.034 毫米 0.0013 英寸 |
0.042 毫米 0.0017 英寸 |
0.05 毫米 0.002 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.04 毫米 0.0016 英寸 |
0.048 毫米 0.0019 英寸 |
0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.057 毫米 0.0022 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.054 毫米 0.0021 英寸 |
0.061 毫米 0.0024 英寸 |
0.068 毫米 0.0027 英寸 |
0.070 毫米 0.0028 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.068 毫米 0.0027 英寸 |
0.074 毫米 0.0029 英寸 |
0.08 毫米 0.0031 英寸 |
0.082 毫米 0.0032 英寸 |
|
QuantumM Max |
||||
| FAROBlu Max | xR | xP | xS | xE |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.041 毫米 0.0016 英寸 |
0.052 毫米 0.002 英寸 |
0.043 毫米 0.0017 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.039 毫米 0.0015 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.056 毫米 0.0022 英寸 |
0.048 毫米 0.0019 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.053 毫米 0.0021 英寸 |
0.062 毫米 0.0024 英寸 |
0.065 毫米 0.0026 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.062 毫米 0.0024 英寸 |
0.067 毫米 0.0026 英寸 |
0.076 毫米 0.003 英寸 |
0.080 毫米 0.0031 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.078 毫米 0.0031 英寸 |
0.081 毫米 0.0032 英寸 |
0.09 毫米 0.0035 英寸 |
0.090 毫米 0.0035 英寸 |
|
QuantumE Max |
||||
| FAROBlu Max | xR | xP | xS | xE |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.042 毫米 0.0017 英寸 |
0.053 毫米 0.0021 英寸 |
0.06 毫米 0.0024 英寸 |
0.060 毫米 0.0024 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.048 毫米 0.0019 英寸 |
0.059 毫米 0.0023 英寸 |
0.065 毫米 0.0026 英寸 |
0.066 毫米 0.0026 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.056 毫米 0.0022 英寸 |
0.067 毫米 0.0026 英寸 |
0.077 毫米 0.003 英寸 |
0.089 毫米 0.0035 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.076 毫米 0.003 英寸 |
0.085 毫米 0.0033 英寸 |
0.095 毫米 0.0037 英寸 |
0.101 毫米 0.0040 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.095 毫米 0.0037 英寸 |
0.104 毫米 0.0041 英寸 |
0.112 毫米 0.0044 英寸 |
0.120 毫米 0.0047 英寸 |
FaroArm 精度 - 接触式测量*（7 轴）
|
QuantumS Max |
|||||
| 7 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.018 毫米 0.0007 英寸 |
0.01 毫米 0.0004 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.04 毫米 0.0016 英寸 |
0.025 毫米 0.001 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.011 毫米 0.0004 英寸 |
0.022 毫米 0.0009 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.028 毫米 0.0011 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.074 毫米 0.0029 英寸 |
0.05 毫米 0.002 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.045 毫米 0.0018 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.039 毫米 0.0015 英寸 |
0.09 毫米 0.0035 英寸 |
0.062 毫米 0.0024 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.108 毫米 0.0043 英寸 |
0.076 毫米 0.003 英寸 |
|
QuantumM Max |
|||||
| 7 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.023 毫米 0.0009 英寸 |
0.012 毫米 0.0005 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
0.045 毫米 0.0018 英寸 |
0.029 毫米 0.0011 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.027 毫米 0.0011 英寸 |
0.013 毫米 0.0005 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
0.049 毫米 0.0019 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.042 毫米 0.0017 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.036 毫米 0.0014 英寸 |
0.08 毫米 0.0031 英寸 |
0.054 毫米 0.0021 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
0.043 毫米 0.0017 英寸 |
0.096 毫米 0.0038 英寸 |
0.066 毫米 0.0026 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.065 毫米 0.0026 英寸 |
0.029 毫米 0.0011 英寸 |
0.048 毫米 0.0019 英寸 |
0.118 毫米 0.0046 英寸 |
0.082 毫米 0.0032 英寸 |
|
QuantumE Max |
|||||
| 7 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.028 毫米 0.0011 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.05 毫米 0.002 英寸 |
0.04 毫米 0.0016 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.04 毫米 0.0016 英寸 |
0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.028 毫米 0.0011 英寸 |
0.051 毫米 0.002 英寸 |
0.088 毫米 0.0035 英寸 |
0.066 毫米 0.0026 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.075 毫米 0.003 英寸 |
0.036 毫米 0.0014 英寸 |
0.062 毫米 0.0024 英寸 |
0.11 毫米 0.0043 英寸 |
0.082 毫米 0.0032 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.095 毫米 0.0037 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.075 毫米 0.003 英寸 |
0.136 毫米 0.0054 英寸 |
0.1 毫米 0.0039 英寸 |
FaroArm 精度 - 接触式测量*（6 轴）
|
QuantumS Max |
|||||
| 6 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.008 毫米 0.0003 英寸 |
0.017 毫米 0.0007 英寸 |
0.03 毫米 0.0012 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.018 毫米 0.0007 英寸 |
0.009 毫米 0.0004 英寸 |
0.018 毫米 0.0007 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.027 毫米 0.0011 英寸 |
0.012 毫米 0.0005 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.036 毫米 0.0014 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.034 毫米 0.0013 英寸 |
0.064 毫米 0.0025 英寸 |
0.052 毫米 0.002 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.045 毫米 0.0018 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
0.078 毫米 0.0031 英寸 |
0.063 毫米 0.0025 英寸 |
|
QuantumM Max |
|||||
| 6 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.01 毫米 0.0004 英寸 |
0.022 毫米 0.0009 英寸 |
0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.027 毫米 0.0011 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.023 毫米 0.0009 英寸 |
0.013 毫米 0.0005 英寸 |
0.023 毫米 0.0009 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
0.03 毫米 0.0012 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.034 毫米 0.0013 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.052 毫米 0.002 英寸 |
0.042 毫米 0.0017 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.039 毫米 0.0015 英寸 |
0.068 毫米 0.0027 英寸 |
0.056 毫米 0.0022 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.053 毫米 0.0021 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.084 毫米 0.0033 英寸 |
0.067 毫米 0.0026 英寸 |
所有值表示 MPE（最大允许误差）
* 接触式测量 (FaroArm)：符合 ISO 10360-12。配有可选的 8 轴（FaroArm + 8 轴）全系统，性能基于 ISO10360-12 球体位置直径误差 (LDIA)
** 非接触式测量（ScanArm 和 ScanArm + 8 轴）：基于 ISO 10360-8 附录 D；定义为 LDIA（球体位置直径误差） - 球形区域的直径，包含从多个方位测量的球体中心。值为绝对值
1 SPAT – 单点接合测试
2 EUNI – 两点之间的距离误差，将测量值与标称值进行比较
3 PSIZE – 球体探测尺寸误差，比较测量值与标称值
4 PFORM – 球体探测形式误差
5 LDIA – 球体位置直径误差（包含从多个方位测量的球体中心的球形区域的直径）
ScanArm 系统精度 - 非接触式测量**（配有 LLP 的 FaroArm）
|
QuantumS Max |
|||
| FAROBlu Max | xR | xP | xS |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.03 毫米 0.0012 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.034 毫米 0.0013 英寸 |
0.042 毫米 0.0017 英寸 |
0.05 毫米 0.002 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.04 毫米 0.0016 英寸 |
0.048 毫米 0.0019 英寸 |
0.055 毫米 0.0022 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.054 毫米 0.0021 英寸 |
0.061 毫米 0.0024 英寸 |
0.068 毫米 0.0027 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.068 毫米 0.0027 英寸 |
0.074 毫米 0.0029 英寸 |
0.08 毫米 0.0031 英寸 |
|
QuantumM Max |
|||
| FAROBlu Max | xR | xP | xS |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.041 毫米 0.0016 英寸 |
0.052 毫米 0.002 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.039 毫米 0.0015 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.056 毫米 0.0022 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.053 毫米 0.0021 英寸 |
0.062 毫米 0.0024 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.062 毫米 0.0024 英寸 |
0.067 毫米 0.0026 英寸 |
0.076 毫米 0.003 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.078 毫米 0.0031 英寸 |
0.081 毫米 0.0032 英寸 |
0.09 毫米 0.0035 英寸 |
|
QuantumE Max |
|||
| FAROBlu Max | xR | xP | xS |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.042 毫米 0.0017 英寸 |
0.053 毫米 0.0021 英寸 |
0.06 毫米 0.0024 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.048 毫米 0.0019 英寸 |
0.059 毫米 0.0023 英寸 |
0.065 毫米 0.0026 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.056 毫米 0.0022 英寸 |
0.067 毫米 0.0026 英寸 |
0.077 毫米 0.003 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.076 毫米 0.003 英寸 |
0.085 毫米 0.0033 英寸 |
0.095 毫米 0.0037 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.095 毫米 0.0037 英寸 |
0.104 毫米 0.0041 英寸 |
0.112 毫米 0.0044 英寸 |
FaroArm 精度 - 接触式测量*（7 轴）
|
QuantumS Max |
|||||
| 7 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.018 毫米 0.0007 英寸 |
0.01 毫米 0.0004 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.04 毫米 0.0016 英寸 |
0.025 毫米 0.001 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.011 毫米 0.0004 英寸 |
0.022 毫米 0.0009 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.028 毫米 0.0011 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.074 毫米 0.0029 英寸 |
0.05 毫米 0.002 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.045 毫米 0.0018 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.039 毫米 0.0015 英寸 |
0.09 毫米 0.0035 英寸 |
0.062 毫米 0.0024 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.108 毫米 0.0043 英寸 |
0.076 毫米 0.003 英寸 |
|
QuantumM Max |
|||||
| 7 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.023 毫米 0.0009 英寸 |
0.012 毫米 0.0005 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
0.045 毫米 0.0018 英寸 |
0.029 毫米 0.0011 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.027 毫米 0.0011 英寸 |
0.013 毫米 0.0005 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
0.049 毫米 0.0019 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.042 毫米 0.0017 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.036 毫米 0.0014 英寸 |
0.08 毫米 0.0031 英寸 |
0.054 毫米 0.0021 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
0.043 毫米 0.0017 英寸 |
0.096 毫米 0.0038 英寸 |
0.066 毫米 0.0026 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.065 毫米 0.0026 英寸 |
0.029 毫米 0.0011 英寸 |
0.048 毫米 0.0019 英寸 |
0.118 毫米 0.0046 英寸 |
0.082 毫米 0.0032 英寸 |
|
QuantumE Max |
|||||
| 7 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.028 毫米 0.0011 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.05 毫米 0.002 英寸 |
0.04 毫米 0.0016 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.04 毫米 0.0016 英寸 |
0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.055 毫米 0.0022 英寸 |
0.028 毫米 0.0011 英寸 |
0.051 毫米 0.002 英寸 |
0.088 毫米 0.0035 英寸 |
0.066 毫米 0.0026 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.075 毫米 0.003 英寸 |
0.036 毫米 0.0014 英寸 |
0.062 毫米 0.0024 英寸 |
0.11 毫米 0.0043 英寸 |
0.082 毫米 0.0032 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.095 毫米 0.0037 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.075 毫米 0.003 英寸 |
0.136 毫米 0.0054 英寸 |
0.1 毫米 0.0039 英寸 |
FaroArm 精度 - 接触式测量*（6 轴）
|
QuantumS Max |
|||||
| 6 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.008 毫米 0.0003 英寸 |
0.017 毫米 0.0007 英寸 |
0.03 毫米 0.0012 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.018 毫米 0.0007 英寸 |
0.009 毫米 0.0004 英寸 |
0.018 毫米 0.0007 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.027 毫米 0.0011 英寸 |
0.012 毫米 0.0005 英寸 |
0.026 毫米 0.001 英寸 |
0.046 毫米 0.0018 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.036 毫米 0.0014 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.034 毫米 0.0013 英寸 |
0.064 毫米 0.0025 英寸 |
0.052 毫米 0.002 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.045 毫米 0.0018 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
0.078 毫米 0.0031 英寸 |
0.063 毫米 0.0025 英寸 |
|
QuantumM Max |
|||||
| 6 轴 | SPAT1 | PSIZE2 | PFORM3 | LDIA4 | EUNI5 |
| 2.0 米（6.6 英尺） | 0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.01 毫米 0.0004 英寸 |
0.022 毫米 0.0009 英寸 |
0.035 毫米 0.0014 英寸 |
0.027 毫米 0.0011 英寸 |
| 2.5 米（8.2 英尺） | 0.023 毫米 0.0009 英寸 |
0.013 毫米 0.0005 英寸 |
0.023 毫米 0.0009 英寸 |
0.038 毫米 0.0015 英寸 |
0.03 毫米 0.0012 英寸 |
| 3.0 米（9.8 英尺） | 0.034 毫米 0.0013 英寸 |
0.016 毫米 0.0006 英寸 |
0.032 毫米 0.0013 英寸 |
0.052 毫米 0.002 英寸 |
0.042 毫米 0.0017 英寸 |
| 3.5 米（11.5 英尺） | 0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.02 毫米 0.0008 英寸 |
0.039 毫米 0.0015 英寸 |
0.068 毫米 0.0027 英寸 |
0.056 毫米 0.0022 英寸 |
| 4.0 米（13.1 英尺） | 0.053 毫米 0.0021 英寸 |
0.024 毫米 0.0009 英寸 |
0.044 毫米 0.0017 英寸 |
0.084 毫米 0.0033 英寸 |
0.067 毫米 0.0026 英寸 |
所有值表示 MPE（最大允许误差）
* 接触式测量 (FaroArm)：符合 ISO 10360-12。配有可选的 8 轴（FaroArm + 8 轴）全系统，性能基于 ISO10360-12 球体位置直径误差 (LDIA)
** 非接触式测量（ScanArm 和 ScanArm + 8 轴）：基于 ISO 10360-8 附录 D；定义为 LDIA（球体位置直径误差） - 球形区域的直径，包含从多个方位测量的球体中心。值为绝对值
1 SPAT – 单点接合测试
2 EUNI – 两点之间的距离误差，将测量值与标称值进行比较
3 PSIZE – 球体探测尺寸误差，比较测量值与标称值
4 PFORM – 球体探测形式误差
5 LDIA – 球体位置直径误差（包含从多个方位测量的球体中心的球形区域的直径）
